동영상 VISION 알고리즘 분석 시스템 - [업계최초 도입]
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100~200ea의 Wafer가 Furnance장비에 Loading되어 잘못된 Align으로 인한 대량의 Wafer Scratch 및 Damage발생을 예방이기위해 개발하여 적용함.
[ Wafer Scratch 및 Damage 발생을 예방 ]
[ Wafer Boat 흔들림 수치화_Diffusion boat_Furnace boat ]