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주요 사업 분야를 안내해 드립니다.
LAPCVD 200mm Tools
반도체 공정중 확산막 형성에 사용되는 장비로 절연 산화막 형성,
LAPCVD 등 장시간 고온 열처리 장비
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LAPCVD 300mm Tools
반도체 공정중 확산막 형성에 사용되는 장비로 절연 산화막 형성,
LAPCVD 등 장시간 고온 열처리 장비
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SW 사업부
동영상 VISION 알고리즘 분석 시스템 , AGS (Advanced Group System) , M-BOX DAQ System
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Valve Overhaul
[ALD 장비 관점에서 고속VEC Test 환경 준비-업계 최초] 고속 Vec Test 환경 infra를 구성하여 Vacuum Pressure Controller의 기능을 검증이 가능 합니다.
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Parts Sale
큐빛에서는 Teflon Valve 부품, Gas Splitter 부품 등 다양한 부품을 국산화 개발 적용하였으며,
반도체 업체에 판매 및 공급하고 있습니다.
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