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동영상 VISION 알고리즘 분석 시스템 l AGS (Advanced Group System) l M-BOX DAQ System
100~200ea의 Wafer가 Furnance장비에 Loading되어 잘못된 Align으로 인한 대량의 Wafer Scratch 및 Damage발생을 예방이기 위해 개발하여 적용함.
MORE >>AGS는 (Advanced Group System)로 Fab내에 여러 장비를 하나의 시스템에서 통합 모니터링 및 관리하는 솔루션.
각각의 장비별 실시간 상태 관리 시스템 - 장비의 프로세스, 이벤트 및 알람, Recipe정보 저장 편집 및 원격 관리 제공. 장비별 중앙 집중식 관리가 가능해짐.
주요 기능 : 전체 또는 개별 장비의 상태를 실시간 모니터링, 데이터/알람 이력 관리, RMS, SPC, APC 기능
MORE >>M-Box는 고객사의 제품 품질과 생산성 향상을 위해 고객사의 Needs에 따른 장비 또는 장치로부터 데이터 수집 및 보고(EAP, FDC, RMS 등) 하거나 제어를 할 수 있는 Customizable 솔루션.
장비에서 생성되어 수집된 Data(DAQ)를 Non-SECS통신을 포함하여 상위 EAP Hosts에 Data를 전달해 주는 시스템으로 다중 Hosts(FDC,SPC,RMS,CMS)에도 DAQ제공이 가능 함.
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