① Chamber    ② Baratron Gauge    ③ CKD Valve   ④ Monitor   ⑤ Pump 

고속 Vec Test 환경 infra를 구성하여 Vacuum Pressure Controller의 기능을 검증할 수 있다.

또한 Pressure Data를 받아 실시간 모니터링할 수 있으며, 이상 징후 발생시 알림 시스템을 구축할 수 있다.

실제 ALD공정과 같이 고속 Open/Close테스트를 한시간 이상 가혹한 환경으로 테스트를 진행하여 실제 공정적용시 문제를 제거함.

[ 업계 최초 Test 환경 도입 ]