AGS (Advanced Group SyStem) - System Overview
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장비 Model별 Group을 설정하여 공정 Log/Alarm확인 및 Data분석이 가능하며, 공정 Recipe편집 및 공정 상태 및 적재상태 확인 가능.
① Process Log Viewer Screen ② Data Analysis ③ Recipe Editor Screen ④ Alarm Log Viewer Screen ⑤ Buffer Status Screen ⑥ Load Port Status Screen
첨부파일
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AGS-Overview-v11.pdf (3.1M)
22회 다운로드 | DATE : 2021-06-15 11:19:43